Чувствительные элементы датчиков на основе LTCC

DOI: 10.25728/avtprom.2022.08.11

Рассмотрено применение низкотемпературной спекаемой керамики (LTCC) для построения чувствительных элементов датчиков. Изделия, изготовленные по технологии LTCC, отличаются стойкостью к агрессивным средам, рабочим диапазоном температур, расширенным по сравнению с устройствами на текстолитовых печатных платах, хорошим теплоотводом, технологичностью в производстве. Приведены примеры применения LTCC при изготовлении датчиков: беспроводного сенсора давления, сенсора направления и силы ветра, малогабаритного сенсора тока на основе катушки Роговского.