Увеличение быстродействия струйных систем управления путем прототипирования их элементов в полидиметилсилоксане методом «мягкой литографии»

Технологии и методы прототипирования микрофлюидных устройств находят широкое применение при решении многих задач управления в технике, медицине и проверке функциональной работоспособности новых микроаналитических систем управления. Рассмотрены особенности формирования микроструктур в фоторезисте SU-8 и создания реплик элементов струйных систем управления в полидиметилсилоксане методом «мягкой» литографии. Показано, что соотношение между шириной и высотой получаемых микроструктур определяется их формой, размерами, силой адгезии резиста к кремниевой подложке и эффективностью циркуляции проявителя вокруг микроструктур. Обсуждаемая технология использована при изготовлении микрофлюидных чипов струйных резервных разнородных систем управления, содержащих основной электронный канал и резервный канал на базе элементов струйной техники.