Задачи планирования и оперативного управления процессом изготовления интегральных схем с микронными и субмикронными топологическими нормами

Рассматриваются задачи планирования и оперативного управления процессом изготовления интегральных схем с микронными и субмикронными топологическими нормами. Строится математическая модель, в рамках которой ставятся оптимизационные задачи планирования и оперативного управления. Предлагаются алгоритмы решения поставленных задач, на основе которых созданы программные средства, позволяющие решать задачи планирования и оперативного управления процессом изготовления интегральных схем. Приводятся результаты решения рассматриваемых задач для конкретной производственной системы.