Цифровой датчик расхода газа

Проанализированы причины, тормозящие внедрение микроэлектронных датчиков в области термоанемометрического измерения массового расхода газа. Обнаружены и приводятся принципиальные особенности баллистического (свободно молекулярного) режима теплопроводности, который до сих пор считался возможным только в разреженных газах. Разработана математическая модель датчика расхода газа с применением программ, реализующих метод конечных элементов. Представлен цифровой измеритель расхода газа, реализованный с учетом особенностей тепло- и мае-сопереноса в микросистемах.